位于上海自贸区临港新片区的上海积塔半导体,总投资规模359亿元建设月产能6万片的8英寸生产线和5万片12英寸特色工艺生产线项目及上海新昇半导体300毫米半导体硅片的生产基地。临港2家标志性半导体企业在水处理工艺中都使用了富士流量的产品,并得到用户的一致好评。
中芯国际集成电路制造有限公司,是世界领先的集成电路芯片代工企业之一,也是中国内地规模最大、技术最先进的集成电路芯片制造企业,工厂分部上海、北京、天津、深圳、绍兴等多个城市。从2009年上海建厂开始至今每个地区建立新厂都会使用到富士流量计,涉及水处理,动力站、洁净室、FMCS等多个系统,运行稳定,10年期间基本无维护。
全球排名第二的DRAM半导体生产商SK海力士无锡工厂及 总投资100亿美元的华虹无锡集成电路研发和制造基地。